活性炭法用活性炭作为吸附填料，臭氧分解催化剂常用于工业生产中。该方法虽然简单方便，但是使用时间一长，活性炭容易失去活性，需要经常更换或再生，并且只适用于低浓度臭氧；此外，这种方法受湿度、气流、压力和浓度等因素的影响较大。有相当的局限性．而且在高浓度时易爆炸。热分解法(臭氧分解催化剂)对于高浓度臭氧的分解，为了得到高的分解率，需在燃烧中将气体加热至400℃，通过热分解或燃烧发生氧化还原反应，除去臭氧。该方法的缺点在于费用高，使用能电磁波辐射分解法采用紫外线或1200~1300nm的近红外线照射臭氧，在光的激发下．臭氧先转化为单线态，再转化为基态02。药液吸收法用硫代硫酸铀或亚硫酸铀等吸收，但这样的方法存在废液处理的问题。催化分解法催化分解臭氧可以较好地弥补以上方法的不足，并能满足高的分解率、长期稳定、安全、经济等要求，是较为理想的方法。
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