低温等离子体技术处理污染物的原理为:在外加电场的作用下，介质放电产生的携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂分子污染物转变为简单分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理领域中的一项，等离子体受到了相关学科界的关注。
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